原子層沉積系統ALD企業
發表時間：2023-08-27
ALD原子層沉積設備廠家有以下幾個：
* 日本AGUS
* PICOSUN：提供原子層沉積系統ALD PICOSUN ALD R-200系列和ALD R-300 Pro。
* 深圳市藍星宇電子科技有限公司。
* 德國Sentech。
* 美國泛林（Lam）。
* 應用材料（AMAT）。
* Eugenus Veeco。
* Beneq（已被中車收購）。
* Leadmicro（江蘇微導）。
* 北方華創。
* 理想能源。
* Oxford Instruments。
* FORGE NANO。
* Solaytec NCD。
除上述外，ald原子層沉積設備廠家還有ASM International、TOKYO ELECTRON等。
